將所拾取的元件p向定位后的電路基板k安裝。元件移載裝置30主要具備xy機(jī)器人31和安裝頭32。xy機(jī)器人31具備：一對(duì)y軸導(dǎo)軌51、y軸滑動(dòng)件52、y軸馬達(dá)53(參照?qǐng)D3)、一對(duì)x軸導(dǎo)軌54、x軸滑動(dòng)件55及x軸馬達(dá)56(參照?qǐng)D3)。一對(duì)y軸導(dǎo)軌51是在y軸方向上平行地延伸的長(zhǎng)條的部件。y軸滑動(dòng)件52架設(shè)于一對(duì)y軸導(dǎo)軌51，且設(shè)為通過(guò)被y軸馬達(dá)53驅(qū)動(dòng)而能夠在y軸方向上移動(dòng)。一對(duì)x軸導(dǎo)軌54是在x軸方向上平行地延伸的長(zhǎng)條的部件。x軸滑動(dòng)件55安裝于一對(duì)x軸導(dǎo)軌54，且通過(guò)被x軸馬達(dá)56驅(qū)動(dòng)而在x軸方向上移動(dòng)。安裝頭32設(shè)為相對(duì)于x軸滑動(dòng)件55可拆裝，且構(gòu)成為能夠保持被供給至元件供給位置的元件p。另外，關(guān)于安裝頭32的詳細(xì)結(jié)構(gòu)見(jiàn)后述。元件相機(jī)41及基板相機(jī)42是具有ccd(chargecoupleddevice：電荷耦合器件)或cmos(complementarymetaloxidesemiconductor：互補(bǔ)性氧化金屬半導(dǎo)體)等拍攝元件的數(shù)碼式的拍攝裝置。元件相機(jī)41及基板相機(jī)42基于以能夠通信的方式連接的控制裝置100的控制信號(hào)來(lái)進(jìn)行處于相機(jī)視野的范圍內(nèi)的拍攝，并將通過(guò)該拍攝而取得的圖像數(shù)據(jù)向控制裝置100發(fā)送。元件相機(jī)41以使光軸成為z軸方向的方式固定于元件安裝機(jī)1的基臺(tái)，從下方拍攝保持于安裝頭32的元件p。上海海谷電子有限公司有限公司為您提供 電子料回收，歡迎新老客戶來(lái)電！芯片電子料回收

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在直至通過(guò)載荷測(cè)定裝置200測(cè)定的載荷收斂于目標(biāo)扭矩t為止所需要的時(shí)間較長(zhǎng)的情況下，判定部180判定為元件保持裝置30存在異常。這樣，馬達(dá)控制裝置440基于元件保持裝置30的實(shí)際位置與元件保持裝置30的指令位置的位置偏差來(lái)運(yùn)算扭矩指令值，并將基于該運(yùn)算出的扭矩指令值而得到的電流(電流指令)向z2軸馬達(dá)71供給。而且，馬達(dá)信息獲取部470將馬達(dá)控制裝置440用于z2軸馬達(dá)71的位置控制的扭矩指令值獲取為馬達(dá)信息，判定部180對(duì)基于扭矩指令值得到的馬達(dá)信息與載荷進(jìn)行比較，進(jìn)行元件保持裝置30的異常判定。即，元件安裝機(jī)1將與z2軸馬達(dá)71的反饋控制所使用的扭矩指令值相關(guān)的數(shù)據(jù)用于元件保持裝置30的異常判定，因此不需要追加獲取用于異常判定的數(shù)據(jù)，與此對(duì)應(yīng)地能夠減少控制裝置100的控制負(fù)擔(dān)。3.其他以上，基于上述實(shí)施方式對(duì)本公開(kāi)進(jìn)行了說(shuō)明，但本公開(kāi)未被上述實(shí)施方式作任何限定，可容易推斷出能夠在不脫離本公開(kāi)的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形改進(jìn)。例如，在上述各實(shí)施方式中，列舉元件安裝機(jī)1通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11搬運(yùn)載荷測(cè)定裝置200并進(jìn)行定位的情況為例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以將載荷測(cè)定裝置200設(shè)置于元件安裝機(jī)1的機(jī)內(nèi)。另外，在第二實(shí)施方式中。

伴隨著吸嘴軸54的升降動(dòng)作而產(chǎn)生的滑動(dòng)阻力小，則通過(guò)載荷測(cè)定裝置200測(cè)定的載荷的推移與馬達(dá)信息即實(shí)際扭矩的推移一致或者具有相關(guān)性。另一方面，若元件保持裝置30異常，則通過(guò)載荷測(cè)定裝置測(cè)定出的載荷與馬達(dá)信息不一致或者不具有相關(guān)性。例如，在如圖5中雙點(diǎn)劃線所示的載荷x那樣吸嘴軸54的滑動(dòng)阻力高的情況下，從z2軸馬達(dá)71施加于吸嘴軸54的載荷由于與吸嘴軸54的滑動(dòng)阻力相伴的扭矩?fù)p失而減少，通過(guò)載荷測(cè)定裝置200測(cè)定的載荷比實(shí)際扭矩小。因此，判定部180對(duì)載荷測(cè)定裝置測(cè)定出的載荷與馬達(dá)信息進(jìn)行比較，在測(cè)定出的載荷低于基于實(shí)際扭矩而計(jì)算出的閾值的情況下，判定為元件保持裝置30存在異常。另外，在實(shí)際扭矩的推移與載荷的推移產(chǎn)生時(shí)間的偏離的情況下例如在實(shí)際扭矩到達(dá)目標(biāo)扭矩t的時(shí)間與載荷到達(dá)目標(biāo)扭矩t的時(shí)間的時(shí)滯大的情況下，判定部180判定為元件保持裝置30存在異常。此外，判定部180將判定結(jié)果顯示于操作盤(pán)(未圖示)等。此處，有時(shí)在進(jìn)行異常判定時(shí)，在使用了一個(gè)吸嘴軸54及吸嘴55的檢查中，判定為元件保持裝置30存在異常，而另一方面在使用了其他吸嘴軸54及吸嘴55的檢查中，判定為元件保持裝置30不存在異常。在這種情況下，作業(yè)者能夠進(jìn)行以下的分析，即。上海海谷電子有限公司有限公司為您提供 電子料回收，有需要可以聯(lián)系我司哦！

以降低成本，簡(jiǎn)化工藝流程。在該步驟中，襯底101推薦為晶圓(wafer)，便于形成小面積的電路板。晶圓清潔完成后，在晶圓的表面旋涂負(fù)光刻膠，并對(duì)負(fù)光刻膠進(jìn)行硬烤。進(jìn)一步地，在光刻膠層102上形成絕緣層111，如圖5b所示。絕緣層111的材料為pmma(poly(methylmethacrylate)-聚甲基丙烯酸甲酯)、特氟隆、硅樹(shù)脂、聚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸(polyethyleneterephthalate)，派瑞林(尤其是parylene-c)。在該步驟中，推薦絕緣層111為派瑞林膜，并采用化學(xué)氣相沉積(chemicalvapordeposition,cvd)工藝形成派瑞林膜。進(jìn)一步地，在絕緣層111的表面形成具有圖案的第二光刻膠層103，如圖5c所示。在該步驟中，例如，在絕緣層111的表面形成第二光刻膠層103，并對(duì)第二光刻膠層103曝光、顯影，以形成具有圖案的第二光刻膠層103。進(jìn)一步地，形成圖案化的金屬層112，如圖5d所示。在該步驟中，形成填充于第二光刻膠層103的圖案內(nèi)的金屬層112，并去除第二光刻膠層103，以形成圖案化的金屬層112，金屬層112具有開(kāi)口104，開(kāi)口104將用于形成通孔的一部分。在替代的實(shí)施例中，可以省去形成第二光刻層103的步驟，在絕緣層111的表面形成金屬層112后，對(duì)金屬層112進(jìn)行圖案化處理。進(jìn)一步地。上海海谷電子有限公司有限公司為您提供 電子料回收，期待您的光臨！芯片電子料回收

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基于上述分度角度信息和上述準(zhǔn)備拍攝部進(jìn)行拍攝時(shí)的上述旋轉(zhuǎn)頭的多個(gè)分度角度，而從多個(gè)上述準(zhǔn)備位置信息之中提取特定位置信息；元件拍攝部，在使上述旋轉(zhuǎn)頭的分度角度與上述特定位置信息中的上述旋轉(zhuǎn)頭的分度角度一致的狀態(tài)下，使上述多個(gè)元件保持部全部收于上述視野內(nèi)，而拍攝保持于上述多個(gè)元件保持部的上述電子元件；及測(cè)定部，測(cè)定根據(jù)上述特定位置信息而識(shí)別出的上述多個(gè)元件保持部的位置與根據(jù)通過(guò)上述元件拍攝部的拍攝而得到的元件圖像而識(shí)別出的上述電子元件的位置之間的位置偏差量。發(fā)明效果本公開(kāi)的電子元件安裝方法在提取工序中從多個(gè)準(zhǔn)備位置信息之中提取特定位置信息，在元件保持工序中，在使旋轉(zhuǎn)頭的分度角度與和特定位置信息對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)頭的分度角度一致的狀態(tài)下，拍攝保持于多個(gè)元件保持部的電子元件。在該情況下，與準(zhǔn)備位置信息為一個(gè)的情況相比，電子元件安裝方法能夠減小從元件供給位置至到達(dá)元件相機(jī)的拍攝位置為止所需的旋轉(zhuǎn)頭的旋轉(zhuǎn)量。由此，電子元件安裝方法能夠在從安裝頭到達(dá)元件相機(jī)的拍攝位置至開(kāi)始基于元件相機(jī)的拍攝為止的期間產(chǎn)生待機(jī)時(shí)間，因此能夠高效地進(jìn)行電子元件的安裝作業(yè)。另外，根據(jù)本公開(kāi)的電子元件安裝機(jī)。芯片電子料回收

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